V-TREMY

VISPER解析作業アシストシステム

高密度基板の解析作業を強力にアシスト
作業精度と効率が大幅に向上します

基板サイズ MAX:300 × 360mm

特徴

1.解析作業を強力にアシスト
高密度基板では拡大観察が必須。V-TREMYなら強力な観察アシスト機能により、効率的な拡大観察を提供します。

2.不良を確実に捉えて見逃し防止
同軸落射と4方向のバー照明を採用したハイブリッド照明でパッドもレジストも見やすく表示します。
パッド、パターンなど、基板の部位毎に最適な照明条件を設定可能。
チェックポイントに合わせて照明が自動で切り替わります。
4方向のバー照明を順次点灯することで傾斜観察も再現します。

3.徹底した作業性重視
解析作業も目視検査。目視検査に疲労は禁物。作業姿勢に無理があれば疲労で集中力が無くなり見逃しがちに。
姿勢、作業性を重視し専用デスクを設計。高さ調整も可能です。
机にはめ込むことでフラットになり、キーボードも無く(テンキー&マウスのみ)し、作業の妨げになる要素は徹底的に排除しました。 解析結果から不具合内容を集計する、品質管理向けソフトも充実。

製品仕様

装置サイズ・重量・電源
装置サイズ  1200 × 1200 × 700mm (WxHxD)
重量  約105kg
製品仕様
搭載可能基板サイズ  MAX 300 × 360mm
投入可能板厚  MAX2.0mm
カメラ  500万画素COMSカラーカメラ
表示範囲  19.6 × 16.4 ~ 6.2 × 4.6mm
分解能
ターゲット分解能 14.1μm (18)  横視野[mm]:34.6  縦視野[mm]:28.9
ターゲット分解能 12.5μm (9.5)  横視野[mm]:24  縦視野[mm]:20.1
ターゲット分解能 7.8μm (10)  横視野[mm]:19.2  横視野[mm]:19.2
ターゲット分解能 3.9μm (5)  横視野[mm]:9.6  横視野[mm]:8

※( )内はVISPER seriesの分解能

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