外観寸法・重量 | |
外観寸法 | 2,172mm x 2,398mm x 2,101mm (WxHxD) |
重量 | 約1,100kg |
VISPER810FCZ 製品仕様 | |
分解能投入可能基板サイズ | 25μm、35μm / pixel 50mm x 50mm ~ 250mm x 360mm t = 0.2mm ~ 1.6mm |
VISPER810FCWZ | |
分解能投入可能基板サイズ | 5μm 、10μm、18μm / pixel 50mm x 50mm ~ 250mm x 360mm t = 0.2mm ~ 1.6mm |