VISPER 310CLZ/CLWZ
特徴
1.バキュームテーブル対応
基板の反りを解消する、バキュームテーブル仕様に変更できます。
オプションで、より高精度に検査したい基板に最適です。
※オプション仕様となります
2.操作性を追及した新しいソフトウェア
オペレーターモードとマスターモードの切り替えにより、よりスムーズな登録作業を実現。
段取り時間の短縮が可能な、最新のソフトウェアを搭載。
3.VISPER Support System を使った検査ソリューション
オプションの段取り・解析システムとの併用により、装置の稼動率をUP。
解析結果から不具合内容を集計する、品質管理向けソフトも充実。
製品仕様
| 外観寸法・重量 | |
| 外観寸法(架台なし) | 590mm x 840mm x 900mm (WxHxD) |
| 外観寸法(架台あり) | 770mm x 1,580mm x 1,150mm (WxHxD) |
| 重量 | 約80kg |
| VISPER310CLZ 製品仕様 | |
| 分解能 投入可能基板サイズ | 25μm / pixel Max：250mm x 330mm t = Min：0.1mm Max：2.0mm |
| VISPER310CLWZ 製品仕様 | |
| 分解能 投入可能基板サイズ | 10μm / pixel Max：250mm x 330mm t = Min：0.1mm Max：2.0mm |
| 分解能 投入可能基板サイズ | 18μm / pixel Max：250mm x 330mm t = Min：0.1mm Max：2.0mm |