AIS-928シリーズ
フィルム検査機
フィルム検査機
特徴
1. 微小欠陥を検出 高解像度CCDカメラと画像処理演算により、目視では見つけ難い微小欠陥を検出。 2.高精度検査 繰り返し精度：±3μm～の高精度検査が可能。 3.簡単な計測 計測したいポイント（パターン幅やパターン間距離）に四角い範囲を設定するだけで、簡単に計測可能。 4.検査時間を短縮 非検査エリアを設定でき、検査時間を短縮。 5.設計データとの比較検査 ガーバーデータとの比較検査が可能。
製品仕様
| 外観寸法・重量・電源 | |
| 本体外観寸法 | 1,530mm x 1,800mm x 1,400mm (WxHxD、モニター部含まず) |
| 重量 | 約650kg |
| 電源 | AC 220V / 単相 / 2.5KVA |
| AIS-928D -ディスプレイ 1台タイプ- 製品仕様 | |
| 読込データ形式 | DRC |
| 検査対象フィルム | ガラスフィルム、ブラックフィルム、ブラウンフィルム |
| CCD | 2048 × 1088 pixels （2M pixels） |
| 分解能 | 2 ～ 7.5 μm / pixel |
| 繰り返し精度 | ± 1.5 pixel |
| 検査項目 | オープン、ショート、ピンホール、欠け パターン幅、突起、 傷、異物、埃、パット有無 |
| 検査対象サイズ | Max 680mm × 780mm |
| 投入サイズ | Max 718mm × 823mm |
| AIS-928G -ディスプレイ 2台タイプ- 製品仕様 | |
| 読込データ形式 | DRC + Gerber （RS 274X） |
| 検査対象フィルム | ガラスフィルム、ブラックフィルム、ブラウンフィルム |
| CCD | 2048 × 1088 pixels （2M pixels） |
| 分解能 | 2 ～ 7.5 μm / pixel |
| 繰り返し精度 | ± 1.5 pixel |
| 検査項目 | オープン、ショート、ピンホール、欠け パターン幅、突起、 傷、異物、埃、パット有無 |
| 検査対象サイズ | Max 680mm × 780mm |
| 投入サイズ | Max 718mm × 823mm |