| Precise FP2 Plus+ | Precise FP3 Plus+ | Precise FP6 Plus+ | Precise FP7 Plus+ | Precise FP8 Plus+ | |
|---|---|---|---|---|---|
| 検査プローブ数 | 4本(片面2本) | ||||
| 最大検査エリア | 508×609mm | ||||
| 投入サイズ | 25×50~533×635mm | ||||
| 投入可能板厚 | 0.7~5.1mm | 0.7~5.1mm | 0.7~5.1mm | 0.7×5.1mm | 0.7~5.8mm |
| 繰りし精度 | 15.2μm | 15.2μm | 12.7μm | 3μm | 3μm |
| 分解能 | 15.2μm | 15.2μm | 12.7μm | 3μm | 3μm |
| 最小パッドサイズ | 88μm | 88μm | 76μm | 63.5μm | 38μm |
| 最小ピッチサイズ | 200μm | 200μm | 152μm | 100μm | 100μm |
| 検査時電圧 | 20-500V | 20-500V | 10-500V | 10-500V | 10-1,000V |
| 検査時電流 | 5-200mA | 5-200mA | 10-500mA | 10-500mA | 10-500mA |
| 4端子測定 | 不可 | 搭載可能 | 搭載可能 | 搭載可能 | 搭載可能 |
| CCDカメラ | 2台(片面1台、自動調整機能付き) | ||||
| 電源 | 115/230V 50/60Hz 1kw | ||||
| エアー | 0.6MPa | ||||
| 外観寸法(W×H×D) | 1,625×1,905×863mm | 1,625×1,930×863mm | 1,854×2,082×812mm | 1,803×2,006×838mm | 1,803×2,006×838mm |
| 重量 | 約600kg | 約600kg | 約1,100kg | 約1,500kg | 約1,500kg |
| 使用環境温度 | 18~28℃ | ||||