AIS-928シリーズ
フィルム検査機

フォトマスクフィルムの欠陥を確実に検出!

特徴

1. 微小欠陥を検出
高解像度CCDカメラと画像処理演算により、目視では見つけ難い微小欠陥を検出。

2.高精度検査
繰り返し精度:±3μm~の高精度検査が可能。

3.簡単な計測
計測したいポイント(パターン幅やパターン間距離)に四角い範囲を設定するだけで、簡単に計測可能。

4.検査時間を短縮
非検査エリアを設定でき、検査時間を短縮。

5.設計データとの比較検査
ガーバーデータとの比較検査が可能。

製品仕様

外観寸法・重量・電源
本体外観寸法 1,530mm x 1,800mm x 1,400mm
(WxHxD、モニター部含まず)
重量 約650kg
電源 AC 220V / 単相 / 2.5KVA
AIS-928D -ディスプレイ 1台タイプ- 製品仕様
読込データ形式 DRC
検査対象フィルム ガラスフィルム、ブラックフィルム、ブラウンフィルム
CCD 2048 × 1088 pixels (2M pixels)
分解能 2 ~ 7.5 μm / pixel
繰り返し精度 ± 1.5 pixel
検査項目 オープン、ショート、ピンホール、欠け
パターン幅、突起、
 傷、異物、埃、パット有無
検査対象サイズ Max  680mm × 780mm
投入サイズ Max  718mm × 823mm
AIS-928G -ディスプレイ 2台タイプ- 製品仕様
読込データ形式 DRC + Gerber (RS 274X)
検査対象フィルム ガラスフィルム、ブラックフィルム、ブラウンフィルム
CCD 2048 × 1088 pixels (2M pixels)
分解能 2 ~ 7.5 μm / pixel
繰り返し精度 ± 1.5 pixel
検査項目 オープン、ショート、ピンホール、欠け
パターン幅、突起、
 傷、異物、埃、パット有無
検査対象サイズ Max  680mm × 780mm
投入サイズ Max  718mm × 823mm

 

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