SHC-1200(N) | SHC-1200(E) | SHC-1200(D) | SHC-1200(M) | |
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基板サイズ最小(mm) | 80 x 120 | |||
基板サイズ最大(mm) | 650 x 650 | 650 x 650 | 650×650(1枚流し) 300×650(2枚流し) |
650×650(1枚流し) 300×650(2枚流し) 190×650(3枚流し) 83×650(6枚流し) |
板厚 | t=0.3mm~7.0mm | |||
アスペクト比 | 1:10 | |||
穴径 | Φ0.15mm~10.0mm | |||
最大穴数 | 500,000 | 500,000 | 500,000(1枚流し) 250,000(2枚流し) |
500,000(1枚流し) 250,000(2枚流し) 160,000(3枚流し) 80,000(6枚流し) |
パスライン | 80mmx120mm | |||
検査速度 | 2.5、5.0、7.5M/min | 5.0、10.0、15.0M/min | 2.5、5.0、7.5M/min | 2.5、5.0、7.5M/min |
検査精度 | ±21μm(2.5M/min時) | ±21μm(5.0M/min時) | ±21μm(2.5M/min時) | ±21μm(2.5M/min時) |
電源 | 1ΦAC200V 50/60Hz 30A | |||
エアー (アンローダのみ) | 0.5~0.7MPa(≒5~7kgf/cm2) | |||
重量(本体) | 約400㎏ | |||
重量(アンローダー) | 約530㎏ |