| SHC-9600 製品仕様 | ||
| 投入最大サイズ | 610mm×710mm(24¨×28¨) | |
| 検査可能範囲 | 604mm x 704mm | |
| 板厚 | t=0.05mm~10mm | |
| 穴径 | 0.075mm~6.5mm | |
| 測定速度 | ±5μm (穴位置) | |
| 検査時間 | 45 sec/side(基板サイズ500×400mm) | |
| 外観寸法(W×H×D) | 1,480×1,659×2,220mm | |
| 重量 | 約1,300kg | |
| SHC-9600 XL 製品仕様 | ||
| 投入最大サイズ | 710mm×810mm(28¨×32¨) | |
| 検査可能範囲 | 704mm x 804mm | |
| 板厚 | t=0.05mm~10mm | |
| 穴径 | 0.075mm~6.5mm | |
| 測定速度 | ±5μm (穴位置) | |
| 検査時間 | 95 sec/side(基板サイズ500×400mm) | |
| 外観寸法(W×H×D) | 1,670×1,910×2,600mm | |
| 重量 | 約2,400kg | |
| SHC-9600 XXL 製品仕様 | ||
| 投入最大サイズ | 710mm×1,200mm(28¨×48¨) | |
| 検査可能範囲 | 704mm x 1,214mm | |
| 板厚 | t=0.05mm~10mm | |
| 穴径 | 0.075mm~6.5mm | |
| 測定速度 | ±5μm (穴位置) | |
| 検査時間 | 95 sec/side(基板サイズ500×400mm) | |
| 外観寸法(W×H×D) | 2,010mm×2,070mm×3,410mm | |
| 重量 | 約3,670kg | |