VISPER 310CLW-HS
特徴
1.バキュームテーブル対応 基板の反りを解消する、バキュームテーブル仕様に変更できます。 オプションで、より高精度に検査したい基板に最適です。 2.操作性を追及した新しいソフトウェア オペレーターモードとマスターモードの切り替えにより、よりスムーズな登録作業を実現。段取り時間の短縮が可能な、最新のソフトウェアを搭載。 3.VISPER Support System を使った検査ソリューション オプションの段取り・解析システムとの併用により、装置の稼動率をUP。 解析結果から不具合内容を集計する、品質管理向けソフトも充実。
製品仕様
| 外観寸法・重量 | |
| 外観寸法 | 770mm x 1,580mm x 1,150mm (WxHxD) |
| 重量 | 約170kg |
| 製品仕様 | |
| 分解能 投入可能基板サイズ | 5μm / pixel Max：250mm x 330mm t = Min：0.1mm Max：3.0mm |