VISPER 310CLZ/CLWZ

少量多品種向けの外観検査装置

特徴

1.バキュームテーブル対応
基板の反りを解消する、バキュームテーブル仕様に変更できます。
オプションで、より高精度に検査したい基板に最適です。
※オプション仕様となります

2.操作性を追及した新しいソフトウェア
オペレーターモードとマスターモードの切り替えにより、よりスムーズな登録作業を実現。
段取り時間の短縮が可能な、最新のソフトウェアを搭載。

3.VISPER Support System を使った検査ソリューション
オプションの段取り・解析システムとの併用により、装置の稼動率をUP。 解析結果から不具合内容を集計する、品質管理向けソフトも充実。

製品仕様

外観寸法・重量
外観寸法(架台なし) 590mm x 840mm x 900mm (WxHxD)
外観寸法(架台あり) 770mm x 1,580mm x 1,150mm (WxHxD)
重量 約80kg
VISPER310CLZ 製品仕様
分解能 投入可能基板サイズ 25μm / pixel  Max:250mm x 330mm
t = Min:0.1mm  Max:2.0mm
VISPER310CLWZ 製品仕様
分解能 投入可能基板サイズ 10μm / pixel  Max:250mm x 330mm
t = Min:0.1mm  Max:2.0mm
分解能 投入可能基板サイズ 18μm / pixel   Max:250mm x 330mm
t = Min:0.1mm  Max:2.0mm

 

お気軽にお問合せください
カタログ
お電話:075-934-5586