VISPER810FCZ/FCWZ
特徴
1.高い検出力 数多くの基板検査で培ったノウハウと、安定した水平吸着方式により10μm の高分解能を実現。 2.操作性を追及した新しいソフトウェア オペレーターモードとマスターモードの切り替えにより、よりスムーズな登録作業を実現。段取り時間の短縮が可能な、最新のソフトウェアを搭載。 3.VISPER Support Systemを使った検査ソリューション オプションの段取り・解析システムとの併用により、装置の稼動率をUP。解析結果から不具合内容を集計する、品質管理向けソフトも充実。 4.Vゴミ取り機構により、誤報を低減
製品仕様
| 外観寸法・重量 | |
| 外観寸法 | 2,172mm x 2,398mm x 2,101mm (WxHxD) |
| 重量 | 約1,100kg |
| VISPER810FCZ 製品仕様 | |
| 分解能投入可能基板サイズ | 25μm、35μm / pixel 50mm x 50mm ～ 250mm x 360mm t = 0.2mm ～ 1.6mm |
| VISPER810FCWZ | |
| 分解能投入可能基板サイズ | 5μm 、10μm、18μm / pixel 50mm x 50mm ～ 250mm x 360mm t = 0.2mm ～ 1.6mm |