| 装置サイズ・重量・電源 | ||
| 装置サイズ | 1200 × 1200 × 700mm (WxHxD) | |
| 重量 | 約105kg | |
| 製品仕様 | ||
| 搭載可能基板サイズ | MAX 300 × 360mm | |
| 投入可能板厚 | MAX2.0mm | |
| カメラ | 500万画素COMSカラーカメラ | |
| 表示範囲 | 19.6 × 16.4 ~ 6.2 × 4.6mm | |
| 分解能 | ||
| ターゲット分解能 14.1μm (18) | 横視野[mm]:34.6 | 縦視野[mm]:28.9 |
| ターゲット分解能 12.5μm (9.5) | 横視野[mm]:24 | 縦視野[mm]:20.1 |
| ターゲット分解能 7.8μm (10) | 横視野[mm]:19.2 | 横視野[mm]:19.2 |
| ターゲット分解能 3.9μm (5) | 横視野[mm]:9.6 | 横視野[mm]:8 |