外観寸法・重量 | |
外観寸法 | 2,500mm x 2,169mm x 1,660mm (WxHxD) |
重量 | 約1,100kg |
VISPER810SUZ 製品仕様 | |
分解能投入可能基板サイズ | 25μm、35μm / pixel 50mm x 50mm ~ 250mm x 330mm t = 0.3mm ~ 1.6mm |
VISPER810SUWZ 製品仕様 | |
分解能投入可能基板サイズ | 10μm、18μm / pixel 50mm x 50mm ~ 250mm x 330mm t = 0.3mm ~ 1.6mm |