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AIS-928シリーズ ~フィルム検査機~

フォトマスクフィルムの欠陥を確実に検出!


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微小欠陥を検出
高解像度CCDカメラと画像処理演算により、
目視では見つけ難い微小欠陥を検出。

高精度検査
繰り返し精度:±3μm~の高精度検査が可能。

簡単な計測
計測したいポイント(パターン幅やパターン間距離)に
四角い範囲を設定するだけで、簡単に計測可能。

検査時間を短縮
非検査エリアを設定でき、検査時間を短縮。

設計データとの比較検査
ガーバーデータとの比較検査が可能。



外観寸法・重量・電源
本体外観寸法 1,530mm x 1,800mm x 1,400mm
 (WxHxD、モニター部含まず)
重量 約650kg
電源
 AC 220V / 単相 / 2.5KVA


AIS-928D -ディスプレイ 1台タイプ- 製品仕様
読込データ形式
 DRC
検査対象フィルム
 ガラスフィルム、ブラックフィルム、ブラウンフィルム
CCD
 2048 × 1088 pixels (2M pixels)
分解能
 2 ~ 7.5 μm / pixel
繰り返し精度
 ± 1.5 pixel
検査項目
 オープン、ショート、ピンホール、欠け、パターン幅、突起、
 傷、異物、埃、パット有無
検査対象サイズ
 Max  680mm × 780mm
投入サイズ
 Max  718mm × 823mm


AIS-928G -ディスプレイ 2台タイプ- 製品仕様
読込データ形式
 DRC  + Gerber (RS 274X)
検査対象フィルム
 ガラスフィルム、ブラックフィルム、ブラウンフィルム
CCD
 2048 × 1088 pixels (2M pixels)
分解能
 2 ~ 7.5 μm / pixel
繰り返し精度
 ± 1.5 pixel
検査項目
 オープン、ショート、ピンホール、欠け、パターン幅、突起、
 傷、異物、埃、パット有無
検査対象サイズ
 Max  680mm × 780mm
投入サイズ
 Max  718mm × 823mm


★生産性向上設備投資促進税制がご利用可能です。
   詳細は経済産業省のHPでご確認ください。
  日本電子回路工業会(JPCA)や、各工業会で証明書を発行いただけます。


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